净化工作台及过滤器在芯片厂中的应用
 

　　我们都知道粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响一些配件产品的成品率。当今，半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔，对空气过滤器的要求也苛刻，生产操作基本都是在洁净工作室中净化工作台中操作。
 

　　衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的 1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了。
 

　　芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置， 即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。
 

　　不论是普通过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。目前没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为，过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。
 

　　空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大， 普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。20世纪90年代初，曾对过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵，随后，过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年，出现了聚四氟乙烯纤维过滤材料，这种材料没有挥发物，但它是带静电的“驻体”，少了个隐患，多了个麻烦，过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离 子。目前这种材料的偏高，大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。净化工作台的过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。