洁净技术

洁净技术和装备的市场十分巨大，随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。 
 
      洁净技术又称为生产环境和污染控制技术，是近二、三十年来随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。洁净技术专门并洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质，有效地控制微量杂质，以保证高科技产品的成品率和可靠性。洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。 

       对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

     随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎，净化工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。

     我国的洁净技术和设备如净化工作台与国家相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，比晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比晚了二十年。0．1微米洁净技术和设备在上国家已成为成熟技术，我国则刚刚起步。

     世界各工业国家为适应净技术的发展，对大量使用的过滤器的从未中断，几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0．1微米PA过滤器，1984年美国AAF公司开始生产0．1微米无隔板PA过滤器，目前0．1微米PA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。日本也已成为世界上生产0．1微米PA过滤器多的国家，品种繁多，产品系列化，尤其是低压损型0．1微米PA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。市场对空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售过100万台，按每台平均200美元计算，销售额达2亿美元。我国空气过滤器市场需求量已接近每年10万台，占市场的2％~4％，但至今还没有0．1微米PA过滤器生产，用于大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0．1微米PA过滤器目前还要依赖。

    在洁净室建设规模和技术水平上，我国与国家差距更大。日本清水建设公司，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71．8万平方米，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188．5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，已大量建成0．1微米级的净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0．1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次／分。美国在中国台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从。由于高洁净的洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。